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鍍鋅風管的排氣類型分類

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鍍鋅風管的排氣類型分類

發布日期:2018-03-03 00:00 來源:http://www.nbzyjx.net 點擊:

伱知道鍍鋅風管有什麼類型嗎?下面小編給伱介紹以下幾種類型

(1)一般排氣:其來源于機台運轉發熱産生不含有害物質或是高溫氣體,但考慮無塵室空調負荷與過濾裝置負荷,因此将廢氣以一般風車抽至大氣排放至大氣環境而不需處理。注:GEX采用鍍鋅螺旋風管,HEX采用SUS304酸排(SEX)、堿排(AEX)系統流程:

(2)酸堿性排氣:其主要來源于化學清洗工作站,清洗晶片時所産生之揮發性氣體,此氣體部分含有濃煙,部分則對呼吸系統有刺激性作用有害人體,故必須經過Scrubber中水洗中和處理,再由風機排入大氣。

(3)有機溶劑排氣:其主要來源于塗膠、顯影工序和各工序使用有機溶劑清洗過程時所産生,需經有機廢氣處理設備處理後,再由風機排入大氣。

(4)堿性剝離排氣:主要來源為陣列工程的剝離工序所使用之剝離液,廢氣首先經過冷凝吸收器,将廢氣中的剝離液冷卻下來,冷凝器吸收處理後的廢氣所含的廢氣濃度會大為下降,然後送至Central Scrubber做水洗中和處理,再由風機排大氣。

(5)應急排氣:當潔淨室機台端風管内探頭感應氣體濃度過高時,緊急啟用以使生産正常并維持室内環境。

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